SF6气体抽真空充气装置一般的净化干燥随回收贮存和充放过程 同步完成，自循环净化方法如下：贮液罐内SF6自循环时，开冷冻压缩机、V5、V2、SF6压缩机、V3。若SF6压缩机排气压力太高可调节V2阀门开启大小，以便气体正常循环。自循环结束时，关V5、V2、SF6压缩机、V3、冷冻压缩机等。六、维修和保养回收装置及其环境应经常保持清洁，对各主要设备应经常检查，按期维修和保养，请注意不能随意松动任何接头、螺栓、螺母，应有专门人员进行操作、维修。6.1、真空泵6.1.1使用中注意事项经常注意油位。泵起动后再打开阀门。经常注意泵运转是否正常，有无特殊声响，电机是否超负荷运转。注意泵温升不超过40℃。严禁用煤油、汽油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。若泵长期搁置不用，应将油放尽，然后注入新油。6.1.2换油期新泵跑合运转后，可能有少量金属碎屑和其他杂质在油箱中沉积起来，对泵的性能不会有影响，但以除去为宜，推荐在使用100小时后，把油放出，把含有杂质的少部分油除去，其余的清洁油仍可用滤网过滤后加入泵内，酌量补充一点新油，以后的换油期，需油用户根据使用情况和效果酌情决定。原则为一年更换一次（约2000小时）。6.1.3换油方法先开泵运转约半小时，待油变稀，停泵从放油孔放油。再敞开进气口运转10~20秒，此间可以吸气口缓缓加入少量新油。以更换泵腔内的存油，如出来的油很脏，后者可重复进行，不可用清洗液冲洗泵内存油和杂质。6.2、SF6压缩机6.2.1使用注意事项因启动过频会影响电机寿命，所以每小时启动次数应尽量少于5次，每次停机时间应在3分钟以上。尽量避免压缩机较长时间真空运转，故回收时要注意观察压缩机进气口压力，当回收初压力(M1)显示为零表压，达到预定值，及时停止压缩机回收。
SF6气体抽真空充气装置 另外，系统中还设置了监视仪表和控制仪表共七只，其中真空计一只，安装在装置回收进气口，并在真空计前装置了DN8阀门，需要观察时打开即可；压力表五只，分别安装在回收进气口、SF6压缩机排气口、冷冻压缩机吸排气口和贮存容器上；冷冻系统上设置了一只温度计，利用温包感应SF6液体温度。系统中真空泵的进口处装有电磁真空带充气阀，并与真空泵接在同一个电源上，当泵停止工作时，阀能自动将真空系统封闭，并将大气通过泵的进口充入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。系统中的冷冻系统由高低压压力控制器整定冷冻压缩机的进出口压力。一旦超出限值范围将自行切断冷冻压缩机的工作，低压断开时待压力回升或高压断开时，待压力回落后，再重新启动压缩机。总体结构，该装置采用手推移动式，可适应室内外正常环境条件下使用。本装置系统比较复杂，由真空泵、SF6压缩机、冷冻系统、贮存容器、管路、各种阀门、仪表及其他附件组成。电控箱、操作阀门和监视仪表全部集中于一侧面板且有流程指示，因而使用时方便明了。四、开机前的工作1、注意要点开机前请注意如下几点：管路连接要保证连接处的密封性。由于本装置出厂时已抽真空，但建议首次开机时先对本装置抽真空，方法见第五节有关内容。在首次开机使用后，一般应在贮存容器和管路内留少量SF6气体，否则开机时建议重新抽真空。2、管路连接用户在使用前，首先应将随机发送的橡胶软管根据功能的需要连接好，为尽可能减小管路损失，管路应尽量短。
